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四甲基氢氧化铵 CAS: 75-59-2 的用途制法及参数介绍

四甲基氢氧化铵

四甲基氢氧化铵(Tetramethylammonium hydroxide)

CAS: 75-59-2;104422-11-9;105468-35-7;123626-97-1;129653-91-4;129654-61-1;143549-79-5;154636-59-6;195460-17-4;78017-87-5;93615-68-0

化学式: C4H13NO

四甲基氢氧化铵

中文名四甲基氢氧化铵
英文名Tetramethylammonium hydroxide
别名氧化四甲铵
氢氧化四甲基胺
氫氧化四甲銨
四甲基氢氧化铵
显影液
英文别名N,N,N-Trimethylmethanaminium Hydroxide
TMAH
hydroxydedetetramethylammonium
megapositcd14
Methanaminium,N,N,N-trimethyl-,hydroxide
n,n,n-trimethyl-methanaminiuhydroxide
nmd3
Tetramethyl ammonium hydroxide
TMAH
CAS75-59-2
104422-11-9
105468-35-7
123626-97-1
129653-91-4
129654-61-1
143549-79-5
154636-59-6
195460-17-4
78017-87-5
93615-68-0
产品用途【用途一】
用作极谱分析试剂
【用途二】
用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等
【用途三】
在电子行业中,广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等
制备方法
四甲基氢氧化铵的制备方法很多,一般采用氧化银法,通过四甲基氯化铵与氧化银反应生成。但该法制备四甲基氢氧化铵的工艺复杂,原料氧化银价格昂贵,而且所得产品含较高的杂质离子,如卤素离子、碱金属离子等,用于有机硅单体催化聚合时,严重影响有机硅产品特性,更无法满足电子领域清洗和腐蚀的要求。
国外从七十年代开始采用电解法制备四甲基氢氧化铵的新工艺,并逐步取代氧化银法。用电解法制得的产品质量较好,成本低,不仅能满足有机硅生产的需要,而且进入了电子工业领域。
密度0.866 g/mL at 25 °C
沸点110 °C
熔点°C
分子式C4H13NO
分子量91.152
闪点80 °F
精质量91.099716
PSA23.06000
LogP0.14560
外观性状无色结晶(常含三、五等结晶水),熔点68-71℃,极易吸潮,在空气中能迅速吸收二氧化碳,130℃时分解为甲醇和三甲胺,通常使用有10%;25%水(或醇)溶液和含结晶水化合物。
蒸汽压17.5 mm Hg ( 20 °C)
折射率n20/D 1.384
储存条件

本品应密封于阴凉干燥处避光保存。

稳定性Stable. Flammable. Incompatible with strong oxidizing agents, strong acids.

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CAS:302795-84-2、2006345-30-6

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CAS:165599-63-3

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CAS:773859-49-7


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本文由齐岳Lh整理,2022-07-25 09:08:53

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